公司前身為中國科學院北京科學儀器研製中心（原中國科學院科學儀器廠），成立於1958年，為中國科學院首個事業單位整體轉改制企業。 歷經六十餘年的發展，始終致力於電子光學和真空技術領域，承接了多個國家重要科研攻關項目，研發出我國第一台掃描電子顯微鏡、第一台渦輪分子幫浦、第一台商用氦 質譜檢漏儀，新產品研發成果始終代表中國高階電子光學儀器和真空技術最高水準。 近年來，成功研發出國內首台場發射槍掃描電子顯微鏡、首台磁浮分子泵，均達到國際級水準。 2008年獲評國家級高新技術企業，2014年被評為國家級企業技術中心，2021年獲評國家級「專精特新」小巨人企業稱號，2022年，獲評國家級「單項冠軍企業 ”稱號。 為中國通用機械工業協會副會長單位，中國真空學會副理事長單位，積體電路零件產業技術創新聯盟副理事長單位，北京真空學會理事長單位。