公司前身为中国科学院北京科学仪器研制中心（原中国科学院科学仪器厂），成立于1958年，是中国科学院首家事业单位整体转改制企业。历经六十余年的发展，始终致力于电子光学和真空技术领域，承担了多个国家重要科研攻关项目，研制出我国第一台扫描电子显微镜、第一台涡轮分子泵、第一台商用氦质谱检漏仪，新产品研发成果始终代表中国高端电子光学仪器和真空技术最高水平。近年来，成功研制出国内首台场发射枪扫描电子显微镜、首台磁悬浮分子泵，均达到国际一流水平。2008年被评为国家级高新技术企业，2014年被评为国家级企业技术中心，2021年获评国家级“专精特新”小巨人企业称号，2022年，获评国家级“单项冠军企业”称号。为中国通用机械工业协会副会长单位，中国真空学会副理事长单位，集成电路零部件产业技术创新联盟副理事长单位，北京真空学会理事长单位。