▶维持增持评级。受半导体下行周期影响，2022年全球半导体设备销售额1076.4亿美元/+4.9%，中国大陆半导体设备销售额282.7亿美元/-4.6%，占全球份额26.3/-2.6pct。2022Q4以来，美日荷半导体设备出口限制持续收紧，以及国家半导体产业在政策支持力度加大，半导体设备国产替代有望加速，国内晶圆厂招标2023年有望加速启动，我们看好核心设备厂商的订单兑现。推荐标的：CMP设备环节华海清科、量检测设备环节精测电子。

▶销售额高增，半导体设备盈利水平稳步提升。1）各环节设备商核心产品订单释放，规模效应以及控费能力提升带动扣非归母净利稳步提升。2022年半导体设备总营收309亿/+59%，总归母净利润53.9亿/+88%，总扣非归母净利44.4亿/+213%；毛利率44.7%/+3.5pct，归母净利率17.4%/+2.7pct 。2023Q1总营收78亿/+69%，总归母净利润13.7亿/+198%，总扣非归母净利润44.4亿/+213%；毛利率43.3%/-0.6pct，归母净利率17.6%/+7.6pct。2）合同负债&存货高增，订单持续兑现。2022年末半导体设备总合同负债143亿/+62%，总存货276亿元/+69%；2023Q1末合同负债149亿/+59%，存货304/+61%。

▶国产化加速，CMP设备业绩表现亮眼。化学机械抛光(CMP)设备占总设备比重约3%，我们估计2022年中国大陆市场规模47.4亿元。华海清科作为国内唯一28nm12英寸CMP设备供应商，现处于1到10市占率加速提升阶段，我们估计华海清科2022年市占率为25.2%/+11.2pct。立足设备，走向后市场服务，耗材&服务赋能完善产业链版图；CMP工艺作为晶圆再生工艺核心，设备自产自用晶圆再生业务形成新增长极。

▶国产化率低，量检测设备未来空间广阔。量检测占总设备比重约10%，我们估计2022年中国大陆市场规模189.4亿元。上海精测(膜厚量测、电子束等)、中科飞测(晶圆检测、形貌量测等)和上海睿励(膜厚产品等)部分产品已实现单点突破，各环节版图布局逐步拓宽，我们估计2022年国产化率为3.9%/+0.9pct。当前量检测设备商仍处于前期高研发投入阶段，叠加规模体量较小仅中科飞测实现盈利；对标科磊，远期盈利水平上限高(毛利率60%+，净利率近40%)。

▶风险提示：下游晶圆厂资本开支不及预期、国产化进程不及预期。