事件概述：公司发布2024年报、2025年一季报。

2024年公司实现营收10.26亿元，同比+38.28%，符合先前预告；2025Q1实现营收3.38亿元，同比+54.23%，持续高速增长，略好于市场预期，我们判断主要系国内设备需求旺盛及公司产品竞争优势明显，Chiller&L/S快速放量。分产品来看：1）Chiller：24年收入为6.29亿元，同比+36.5%，作为公司核心产品保持快速增长，并向先进超低温温控突破；2）L/S：24年收入为3.23亿元，同比+49.63%，实现较高增速，市占率不断提升；3）Sorter：24年收入为2452万元，新品逐步放量。从客户集中度来看，24年前五大客户收入占比为75%，明显高于过去均值，指引了公司在头部晶圆厂的较高份额。截至25Q1末，公司存货/合同负债为20.57/8.15亿元，同比+82%/+79%；其中发出商品约12亿元，均处于高位水平，充分验证公司在手订单充足，此外存储大客户扩产计划明确，我们判断Q1新接订单延续较快增长势头。随着确认节奏加快，看好收入端持续快速增长。

2、利润端保持快速增长，25Q1扣非盈利水平有所提升

2024年公司实现归母净利润/扣非归母净利润为1.53亿元/1.16亿元，分别同比+28.35%/+33.52%，符合先前预告，全年利润端快速增长。2024年公司销售净利率/扣非净利率为14.90%/11.28%，分别同比-1.15pct/-0.30pct，盈利水平略有下滑：1）毛利端：公司整体毛利率为32.79%，同比+0.31pct（剔除质保金会计准则调整），其中主营Chiller/L&S毛利率分别同比+3.14pct/-6.27pct，我们推测Chiller毛利率提升主要系先进制程产品影响，此外，零配件及支持性设备、维护维修等服务毛利率分别同比+7.63、+9.02pct，改善明显；2）费用端：公司期间费用率为20.67%，同比-1.13pct（剔除质保金会计准则调整），其中销售/管理/研发/财务费用率分别同比+0.1/-1.6/+0.9/-0.6pct，主要系规模效应；3）24年合计计提减值损失2450万元，去年同期仅396万元，影响净利率约1.9pct；4）非经损益为3716万元，较去年同期变化不大，一定程度增厚利润。

2025Q1公司实现归母净利润/扣非归母净利润为0.36亿元/0.32亿元，分别同比+27.94%/+59.40%；2025Q1公司销售净利率/扣非净利率为10.62%/9.36%，分别同比-2.18pct/+0.30pct，扣非真实盈利水平有所提升，其中毛利率为31.37%，同比-3.66pct，主要系质保金影响；期间费用率同比-7.32pct，主要系规模效应。25Q1合计计提减值损失927万元，24Q1仅241万元，影响利润表现。

3、深度受益先进制程扩产，维保后市场&真空泵打开成长空间

Chiller&L/S可完全实现进口替代，根据我们测算，2024年公司市占率为28%、8.6%，仍有较大提升空间，供货长江存储、中芯国际、华虹集团、广州粤芯、长鑫等，先进制程占比较高，短期深度受益先进制程扩产：1）节点升级大幅提升资本开支，Chiller&L/S是价值量提升最明显环节，根据我们测算，以Chiller为例，成熟逻辑1K需求量10台，7nm节点需求量提升3-4倍；先进NAND新增超低温Chiller需求，每万片需求量近百台，单台80-100万，叠加普通Chiller单万片价值量约1.3亿元；2）2019-2024年公司累计实现设备收入31.9亿元，按照后市场收入占设备价值量10%，公司自有设备配套的后市场空间约2.2亿元，我们判断随着公司Chiller&L/S持续大规模出货，后服务业务有望加速增长，成为公司重要的增长点。此外，公司投入半导体真空泵研发，25年有望实现突破。

投资建议：

我们调整2025-2026年营收预测为15.00、19.74亿元（原值为15.22和19.97亿元），分别同比+46%、+32%；归母净利润预测为2.66、3.79亿元（原值为2.80和4.16亿元），分别同比+74%、+43%；对应EPS为1.58、2.26元（原值为1.67和2.48元）。新增2027年营收预测为26.02亿元，同比+32%；归母净利润预测为5.19亿元，同比+37%；对应EPS为3.09元。2025/4/29股价58.2元对应PE为37、26、19倍，维持“增持”评级。

风险提示：下游扩产不及预期，新品突破不及预期等。